Параметрический анализатор Keithley 4200A-SCS предназначен для измерения ВАХ (вольтамперной характеристики) в классическом и импульсном режимах и ВФХ (вольтфарадной характеристики). Устройство построено по модульному принципу и может быть произвольно сконфигурировано для решения необходимых заказчику задач. При подключении модуля коммутатора, анализатор Keithley 4200A-SCS позволяет производить последовательное измерение ВАХ и ВФХ без переключения кабелей или щупов зондовой станции во время тестирования кремниевых пластин.
Мощное аппаратное и современное программное обеспечение параметрического анализатора Keithley 4200A-SCS обеспечивает высокую производительность и позволяют ускорить испытание сложных устройств, предназначенных для анализа материалов, подготовки производства или отдельных технологических процессов и разработки полупроводниковой техники.
Графический интерфейс ПО Clarius обеспечивает широчайшие возможности измерения и анализа величин. Clarius позволяет производить измерения на экспертном уровне и оснащен сотнями встроенных приложений для тестирования, обеспечивающими высокую скорость исследований и уверенность в их результате.
Ключевые возможности
Полностью конфигурируемый базовый блок может оснащаться модулями источника-измерителя, модулем ВФХ и сверхбыстрых импульсных измерений ВАХ;
ПО Clarius с графическим интерфейсом пользователя и с сенсорным управлением предлагает расширенное описание процедуры тестирования, анализ параметров, построение графиков и автоматизирует выполнение точных объективных измерений с последующим анализом;
Встроенное контекстно-зависимое видео об измерениях и более 450 методик измерений;
Источник-измеритель (SMU) для построения ВАХ: модули ±210 В / 100 мА или ±210 В / 1 А, разрешение при измерениях 100 фА или 0,1 фА с дополнительным предусилителем;
Модуль измерения ВФХ (CVU): измерение комплексного сопротивления переменному току (C-V, C-f, C-t) на частотах от 1 кГц до 10 МГц;
Коммутационный блок ВАХ/ВФХ (CVIV);
Модуль сверхбыстрого измерения ВАХ в импульсном режиме (PMU): два независимых или синхронизируемых канала высокоскоростного импульсного источника-измерителя; 200 мегавыборок в секунду, период выборки — 5 нс; расширенная до десятков пикоампер чувствительность по току с дополнительным предусилителем;
Модуль генератора высоковольтных импульсов (PGU): два канала источника высокоскоростных импульсов напряжения; ±40 В (80 В размах), ±800 мА;
Полностью изменяемая конфигурация в соответствии с запросами потребителей и возможностью глубокой модернизации: включите в состав прибора только необходимые сегодня модули, остальные добавьте позже.
Модели
